Gas sensor mems structures and methods of fabrication thereof

WO2018106193 Art A1 14. Juni 2018

Anmelder: National University of Singapore, The Regents of the University of California 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018106193
Aktenzeichen: EP17879445
Anmeldetag: 8. Dezember 2017
Veröffentlichung: 14. Juni 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/3504G01N21/61G01N21/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National University of Singapore
The Regents of the University of California
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 National University of Singapore

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Fachgebiete

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