Wavelength control system for pulse-by-pulse wavelength target tracking in duv light source

WO2018106379 Art A1 14. Juni 2018

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018106379
Aktenzeichen: EP17878791
Anmeldetag: 7. November 2017
Veröffentlichung: 14. Juni 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/10H01S3/13

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von