Short inorganic trisilylamine-based polysilazanes for thin film deposition

WO2018107138 Art A1 14. Juni 2018

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018107138
Aktenzeichen: EP17877814
Anmeldetag: 11. Dezember 2017
Veröffentlichung: 14. Juni 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/34H01L21/316H01L21/318

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von