Apparatus for deposition of a material on a substrate, system for depositing one or more layers on a substrate, and method for monitoring a vacuum deposition system

WO2018108241 Art A1 21. Juni 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018108241
Aktenzeichen: EP16809399
Anmeldetag: 12. Dezember 2016
Veröffentlichung: 21. Juni 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/54G01B11/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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