Shower head and vacuum processing device

WO2018110013 Art A1 21. Juni 2018

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018110013
Aktenzeichen: EP17880357
Anmeldetag: 15. September 2017
Veröffentlichung: 21. Juni 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31C23C16/455H01L21/3065H01L21/318H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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