Film-forming device

WO2018110199 Art A1 21. Juni 2018

Anmelder: National University Corporation Nagoya University, SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018110199
Aktenzeichen: EP17880911
Anmeldetag: 17. November 2017
Veröffentlichung: 21. Juni 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34C23C14/54H01L21/203

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National University Corporation Nagoya University
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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