Imaging method for low contrast features

WO2018111644 Art A1 21. Juni 2018

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018111644
Aktenzeichen
EP17881752
Anmeldetag
6. Dezember 2017
Veröffentlichung
21. Juni 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G02B21/00G02B21/36G02B27/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Electro Scientific Industries, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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