Charged particle beam inspection of ungrounded samples

WO2018114299 Art A1 28. Juni 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018114299
Aktenzeichen: EP17808468
Anmeldetag: 4. Dezember 2017
Veröffentlichung: 28. Juni 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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