Multi-image particle detection system and method

WO2018122028 Art A1 5. Juli 2018

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018122028
Aktenzeichen: EP17825821
Anmeldetag: 19. Dezember 2017
Veröffentlichung: 5. Juli 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/62G03F1/84G01N21/88G01N21/94G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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