Method for decomposing quartz sample, method for analyzing metal contamination of quartz sample, and method for manufacturing quartz member

WO2018123490 Art A1 5. Juli 2018

Anmelder: Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018123490
Aktenzeichen
EP17885576
Anmeldetag
7. Dezember 2017
Veröffentlichung
5. Juli 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G01N1/28C30B29/06G01N31/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sumco Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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