P-type sic epitaxial wafer and production method therefor

WO2018123534 Art A1 5. Juli 2018

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018123534
Aktenzeichen
EP17888712
Anmeldetag
11. Dezember 2017
Veröffentlichung
5. Juli 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205C23C16/42C30B25/16C30B29/36H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Showa Denko K.K.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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