Piezoelectric-element-driven valve and flow rate control device

WO2018123852 Art A1 5. Juli 2018

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018123852
Aktenzeichen: EP17889022
Anmeldetag: 22. Dezember 2017
Veröffentlichung: 5. Juli 2018
Rechtsraum: WO
IPC: F16K31/02F16K37/00G05D7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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