Methods and apparatus for enhanced flow detection repeatability of thermal-based mass flow controllers (mfcs)

WO2018125414 Art A1 5. Juli 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018125414
Aktenzeichen: EP17885993
Anmeldetag: 15. November 2017
Veröffentlichung: 5. Juli 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06G01F1/76G01F15/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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