System and method for reconstructing high-resolution point spread functions from low-resolution inspection images
WO2018125495
Art A1
5. Juli 2018
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018125495
- Aktenzeichen
- EP17886888
- Anmeldetag
- 29. November 2017
- Veröffentlichung
- 5. Juli 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G06T3/40G06T5/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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