Film forming method and winding type film forming device
WO2018128009
Art A1
12. Juli 2018
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018128009
- Aktenzeichen
- EP17890362
- Anmeldetag
- 14. November 2017
- Veröffentlichung
- 12. Juli 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/34C23C14/14C23C14/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
1.137 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.