Rolling-type film formation device and rolling-type film formation method

WO2018128025 Art A1 12. Juli 2018

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018128025
Aktenzeichen: EP17890623
Anmeldetag: 22. November 2017
Veröffentlichung: 12. Juli 2018
Rechtsraum: WO
IPC: B05C1/08B05D1/28B05D3/10B05D3/12B05D7/04B05D7/24B41F5/04B41F17/10B41M1/02B41M1/10B41M1/28B41M1/30B65H20/02C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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