Single crystal manufacturing method and single crystal pulling device

WO2018128051 Art A1 12. Juli 2018

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018128051
Aktenzeichen
EP17890109
Anmeldetag
11. Dezember 2017
Veröffentlichung
12. Juli 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06C30B15/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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