Dry etching method and -diketone-filled container

WO2018128079 Art A1 12. Juli 2018

Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018128079
Aktenzeichen: EP17889899
Anmeldetag: 20. Dezember 2017
Veröffentlichung: 12. Juli 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065C23F1/12C23F4/00H01L21/302

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Central Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

1.099 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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