Device-Like Metrology Targets

WO2018128641 Art A1 12. Juli 2018

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018128641
Aktenzeichen: EP17889847
Anmeldetag: 27. Februar 2017
Veröffentlichung: 12. Juli 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/25G02B27/60

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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