Reducing an Optical Power Of A Reflected Light Beam

WO2018128740 Art A1 12. Juli 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018128740
Aktenzeichen: EP17890526
Anmeldetag: 4. Dezember 2017
Veröffentlichung: 12. Juli 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/42G02B27/09H01S3/00H01S3/10H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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