Protective oxide coating with reduced metal concentrations

WO2018128771 Art A1 12. Juli 2018

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018128771
Aktenzeichen: EP17829410
Anmeldetag: 15. Dezember 2017
Veröffentlichung: 12. Juli 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C25D11/02C25D11/12C25D11/18C25D11/26C25D11/30C25D11/34C25D11/06C25D11/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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