183 nm cw laser and inspection system
WO2018128963
Art A1
12. Juli 2018
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018128963
- Aktenzeichen
- EP18736608
- Anmeldetag
- 2. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 12. Juli 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01S3/109H01S3/23H01S3/16H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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