A multiple stage vacuum pump and pump configuring method

WO2018130819 Art A1 19. Juli 2018

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018130819
Aktenzeichen
EP18700803
Anmeldetag
9. Januar 2018
Veröffentlichung
19. Juli 2018
Rechtsraum
WO
IPC
F04C23/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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