Powder storing container and method for inspecting foreign material

WO2018131149 Art A1 19. Juli 2018

Anmelder: Nikon Corporation, Spectra Design Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018131149
Aktenzeichen: EP17891852
Anmeldetag: 13. Januar 2017
Veröffentlichung: 19. Juli 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/03G01N1/36G01N21/11G01N21/3586

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Spectra Design Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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