Method for forming cover film, method for processing substrate, and composition
WO2018131495
Art A1
19. Juli 2018
Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018131495
- Aktenzeichen
- EP17891956
- Anmeldetag
- 27. Dezember 2017
- Veröffentlichung
- 19. Juli 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/312C09D7/40C09D125/04C09D133/00C09D133/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- JSR Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JSR Corporation
JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.
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