Film forming device

WO2018131529 Art A1 19. Juli 2018

Anmelder: Toray Engineering Co., Ltd., Choshu Industry Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018131529
Aktenzeichen: EP18738932
Anmeldetag: 4. Januar 2018
Veröffentlichung: 19. Juli 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/509C23C16/42H01L21/31H01L21/318

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Toray Engineering Co., Ltd.
Choshu Industry Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toray Engineering

Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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