Reducing Speckle in an Excimer Light Source

WO2018132198 Art A1 19. Juli 2018

Anmelder: Cymer, LLC, ASML Netherlands B.V. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018132198
Aktenzeichen: EP17891340
Anmeldetag: 4. Dezember 2017
Veröffentlichung: 19. Juli 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇺🇸 USA

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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