Articles coated with a fluoro-annealed film
WO2018132789
Art A1
19. Juli 2018
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018132789
- Aktenzeichen
- EP18706585
- Anmeldetag
- 15. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 19. Juli 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/40C23C16/455C23C16/56C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.