Scanning electron microscope and sample observation method by means of scanning electron microscope

WO2018134870 Art A1 26. Juli 2018

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018134870
Aktenzeichen: EP17893290
Anmeldetag: 17. Januar 2017
Veröffentlichung: 26. Juli 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20H01J37/04H01J37/05H01J37/147H01J37/22H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

3.840 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von