Positional-deviation-amount acquisition device, inspection device, positional-deviation-amount acquisition method, and inspection method

WO2018135112 Art A1 26. Juli 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018135112
Aktenzeichen: EP17892401
Anmeldetag: 13. November 2017
Veröffentlichung: 26. Juli 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/00G01N21/956G06T7/00G06T7/33H05K3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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