Reflective mask blank, reflective mask, method for producing same, and method for producing semiconductor device

WO2018135467 Art A1 26. Juli 2018

Anmelder: Hoya Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018135467
Aktenzeichen: EP18741468
Anmeldetag: 16. Januar 2018
Veröffentlichung: 26. Juli 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/24G03F1/26G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hoya Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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