Self-Aligned Epi Contact Flow

WO2018136261 Art A1 26. Juli 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018136261
Aktenzeichen
EP18742200
Anmeldetag
9. Januar 2018
Veröffentlichung
26. Juli 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/66H01L29/78H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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