Compositions and methods for removing ceria particles from a surface

WO2018136511 Art A1 26. Juli 2018

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018136511
Aktenzeichen
EP18703414
Anmeldetag
17. Januar 2018
Veröffentlichung
26. Juli 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C09G1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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