Method for forming aluminum oxide film

WO2018139528 Art A1 2. August 2018

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018139528
Aktenzeichen
EP18744760
Anmeldetag
25. Januar 2018
Veröffentlichung
2. August 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34C23C14/08H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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