Electrochemical imprinting of micro- and nano-structures in porous silicon, silicon, and other semiconductors
Anmelder: Arizona Board of Regents on behalf of Arizona State University, The Board of Trustees of the University of Illinois 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018140811
- Aktenzeichen
- EP18744803
- Anmeldetag
- 26. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 2. August 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/00H01L21/027H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Arizona Board of Regents on behalf of Arizona State University
The Board of Trustees of the University of Illinois - Land
- 🇺🇸 USA
Der Arizona Board of Regents verwaltet im Namen der Arizona State University deren Patentportfolio aus universitärer Forschung. Die Anmeldungen konzentrieren sich auf Mess- und Prüftechnik, Medizintechnik sowie Pharma- und Biotechnologie, ergänzt durch Halbleitertechnik. Der Aktivitätszeitraum reicht von 2008 bis in die Gegenwart.
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