Cleaning device for monocrystal pulling apparatus

WO2018142541 Art A1 9. August 2018

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018142541
Aktenzeichen
EP17894721
Anmeldetag
2. Februar 2017
Veröffentlichung
9. August 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C30B15/32C30B29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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