Charged particle detector and charged particle beam device

WO2018143054 Art A1 9. August 2018

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018143054
Aktenzeichen: EP18747704
Anmeldetag: 25. Januar 2018
Veröffentlichung: 9. August 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/244G01N23/2258G01T1/20G21K4/00H01J37/28H01J49/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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