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WO2018146887
Art A1
16. August 2018
Anmelder: Toray Engineering Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018146887
- Aktenzeichen
- EP17896208
- Anmeldetag
- 15. November 2017
- Veröffentlichung
- 16. August 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/956H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Toray Engineering Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toray Engineering
Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.
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