Vacuum drying apparatus and vacuum drying method
WO2018147361
Art A1
16. August 2018
Anmelder: ULVAC, Inc., Incorporated National University Iwate University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018147361
- Aktenzeichen
- EP18751976
- Anmeldetag
- 8. Februar 2018
- Veröffentlichung
- 16. August 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F26B5/04F26B9/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ULVAC, Inc.
Incorporated National University Iwate University - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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