Mitigation Of Inaccuracies Related To Grating Asymmetries in Scatterometry Measurements
WO2018147938
Art A1
16. August 2018
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018147938
- Aktenzeichen
- EP17895966
- Anmeldetag
- 15. Dezember 2017
- Veröffentlichung
- 16. August 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.