Electron source architecture for a scanning electron microscopy system
WO2018148150
Art A1
16. August 2018
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018148150
- Aktenzeichen
- EP18750688
- Anmeldetag
- 5. Februar 2018
- Veröffentlichung
- 16. August 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/28H01J37/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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