Fluid synthesis monitoring system

WO2018148452 Art A1 16. August 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018148452
Aktenzeichen: EP18751311
Anmeldetag: 8. Februar 2018
Veröffentlichung: 16. August 2018
Rechtsraum: WO
IPC: B01D29/60B01D29/90B01D35/30F15B1/26G01L7/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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