Solution-Phase Nanopatterning By Beam Pen Arrays

WO2018148717 Art A1 16. August 2018

Anmelder: Northwestern University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018148717
Aktenzeichen: EP18751584
Anmeldetag: 13. Februar 2018
Veröffentlichung: 16. August 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F7/20G03F7/207H01L21/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Northwestern University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Northwestern University

Private US-amerikanische Universität mit Hauptsitz in Evanston, Illinois, bekannt für Forschung in Ingenieurwissenschaften, Medizin und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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