Deposition apparatus for coating a flexible substrate and method of coating a flexible substrate

WO2018149510 Art A1 23. August 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018149510
Aktenzeichen
EP17708994
Anmeldetag
20. Februar 2017
Veröffentlichung
23. August 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/56C23C16/54C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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