Charged particle beam system ad method

WO2018149732 Art A1 23. August 2018

Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH, Carl Zeiss Microscopy Ltd. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018149732
Aktenzeichen
EP18708338
Anmeldetag
8. Februar 2018
Veröffentlichung
23. August 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/317H01J37/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Carl Zeiss Microscopy Ltd.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

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