Method for etching

WO2018150637 Art A1 23. August 2018

Anmelder: Shin-Etsu Polymer Co., Ltd., National University Corporation Saitama University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018150637
Aktenzeichen
EP17896788
Anmeldetag
26. Oktober 2017
Veröffentlichung
23. August 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/308B23K26/53H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Polymer Co., Ltd.
National University Corporation Saitama University
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Polymer

Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. ist ein japanischer Hersteller von Kunststoff- und Elektronikkomponenten mit Sitz in Tokio, Teil des Shin-Etsu-Chemical-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Verpackungstechnik, ergänzt um Kunststofftechnik und Fertigungstechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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