Anomaly detection device for fluid controller, anomaly detection system, anomaly detection method, and fluid controller

WO2018150949 Art A1 23. August 2018

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018150949
Aktenzeichen: EP18754696
Anmeldetag: 6. Februar 2018
Veröffentlichung: 23. August 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01M3/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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