Pattern rendering device and pattern rendering method

WO2018150996 Art A1 23. August 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018150996
Aktenzeichen
EP18754109
Anmeldetag
8. Februar 2018
Veröffentlichung
23. August 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20B41J2/47G02B26/10H04N1/113
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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