Chemical solution, chemical solution accommodation body, and pattern formation method

WO2018151164 Art A1 23. August 2018

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018151164
Aktenzeichen: EP18754294
Anmeldetag: 14. Februar 2018
Veröffentlichung: 23. August 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/16G03F7/038G03F7/039G03F7/20G03F7/26G03F7/32H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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