Voltage-current probe for measuring radio-frequency electrical power in a high-temperature environment and method of calibrating the same
WO2018151920
Art A1
23. August 2018
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018151920
- Aktenzeichen
- EP18754535
- Anmeldetag
- 25. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 23. August 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01R15/18H01J37/32G01R35/04
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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