Voltage-current probe for measuring radio-frequency electrical power in a high-temperature environment and method of calibrating the same

WO2018151920 Art A1 23. August 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018151920
Aktenzeichen
EP18754535
Anmeldetag
25. Januar 2018
Veröffentlichung
23. August 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G01R15/18H01J37/32G01R35/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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